2019年12月16日，上海市超精密运动控制与检测工程研究中心举行揭牌仪式。复旦大学副校长、中国科学院院士金力，中国工程院院士柴天佑，上海市发展和改革委员会高技术产业处副处长徐衡、杨浦区发展和改革委员会副主任邵晓燕共同为中心揭牌。

2019年7月，上海市发改委批准建设上海市超精密运动控制与检测工程研究中心，杨晓峰教授为中心负责人。中心以满足国家重大需求为牵引，以半导体制造和检测装备开发为背景，开展高精密执行器、高精度位移传感器和高性能运动台等关键技术的研发，取得创新性成果，解决卡脖子问题。

柴天佑院士等与会专家听取了杨晓峰教授的中心建设工作报告，肯定了中心在承担国家和上海市重大任务方面做出的贡献，对主动式磁浮导向系统、大行程磁浮重力补偿器和倒挂式高性能运动台等研发成果给与了高度评价，同时对中心的建设任务、管理运行机制、预期目标与规划等各方面提出了下一步发展建议。