聚焦离子束场发射扫描电镜（FIB-SEM）可提供指定区域的材料去除、切割，并通过SEM实现暴露后亚表面特征的无损成像。近日，我校首台FIB-SEM在分析测试中心安装完毕，这将对学校一流学科建设起到重要促进作用。

本次申购的德国蔡司Crossbeam550是基于高端的场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、与聚焦离子束（FIB）和气体注入系统（GIS）相结合，该平台可扩展为先进的三维成像、三维分析和纳米加工的工作站。该系统配备了In-lensSE探测器、EsB能量选择背散射电子探测器、BSD背散射电子探测器、STEM探测器、EDS探测器、EBSD探测器、样品室SESI探测器和红外CCD探测器，允许对大量、各种样品包括导电、非导电和磁性样品的研究，具备形貌分析、成分分析、结构分析及样品制备、微纳加工等功能，可谓是一台设备一个实验室。Crossbeam工作站使我校FIB实现了从无到有的突破，同时配置的Symmetry-EBSD探测器填补了学校高端EBSD的空白，尤其适用于大形变样品和大面积拼接及伪对称相的分析。为保障聚焦离子束扫描电镜顺利运行，中心专门调配两名高级实验师提供测试服务，目前周测试机时40小时以上，并根据测试需求逐渐增加。

我校分析测试中心具有国家计量资质认证，是公共测试平台，在大型仪器设备共享、维护及分析测试方面具有独特的技术优势，所有设备对校内师生无条件开放。